【新能源開發(fā)技術】多晶硅錠生產(chǎn)技術原理
本文檔由 精品庫 分享于2012-10-22 10:56
一、 引言 二、 多晶爐內(nèi)熱場與硅錠的組織結構 三、 定向凝固時硅中雜質(zhì)的分凝 四、 定向凝固硅晶體生長工藝方法 五、 熱交換法多晶爐型 六、 熱交換法工藝討論 七、 結晶爐結構類型的選擇 八、 多晶硅片的高效率、高質(zhì)量生產(chǎn)方向
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